- кассета для полупроводниковых пластин
- wafer-processing container
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
SMIF — Создатель: Hewlett Packard Создан: 1980 е годы SMIF, Standard Mechanical InterFace (Стандартный Механический ИнтерФейс) стандарт SEMI E19 1105[1] на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств. История … Википедия